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單晶爐

文章出處:英智科技 人氣:發表時間:2017-10-27 15:42
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。

滑環在單晶爐上的應用,滑環
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